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鈣鈦礦P2/P3激光劃線一體機

鈣鈦礦 P2/P3 激光劃線一體機采用皮秒激光對鈣鈦礦、光吸收層或金屬電極層進行加工，在短時間高峰值的脈沖的作用下，保證在材料表面劃線的同時，邊緣做到無“火山口”，加工效果可控穩(wěn)定，能精準定位深度去除需要加工的膜層而不傷基層（TCO），劃線底部平整度和一致性好。

鈣鈦礦P1/P4激光刻蝕清邊一體機

鈣鈦礦P1/P4激光刻蝕清邊一體機不僅能滿足 P1 的激光刻蝕劃線：去除 TCO 層，刻蝕后 P1 兩側(cè)的電阻大于 20MΩ，刻蝕線槽內(nèi)無 TCO 材料殘留，不傷及玻璃基底；同時還能滿足 P4 激光清邊：去除基底上方所有的膜層，不傷及基底。

激光注入金屬化設備

設備通過高能量的激光照射在電池表面激發(fā)載流子形成局部高密度電流，引發(fā)金屬柵線與硅基體相互擴散，形成良好的歐姆接觸，有效降低接觸電阻，同時不會造成鈍化層大面積損傷，因而能提升開壓和短路電流，從而顯著提升電池片的轉(zhuǎn)換效率。

BC 類電池激光開膜設備

采用超快激光對各類掩膜層的高速精密刻蝕，同時對基底無損傷或損傷較小，實現(xiàn)高效背接觸電池（XBC）的圖形化工業(yè)化生產(chǎn)。

磷硼激光摻雜設備

使用激光能量推動硼、磷原子擴散，僅在金屬柵線與硅片接觸區(qū)域?qū)崿F(xiàn)重摻雜，在其他區(qū)域保持輕摻雜，從而實現(xiàn)選擇性發(fā)射極結(jié)構(gòu)，形成良好的歐姆接觸，提高電池轉(zhuǎn)化效率。

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